r-116制冷剂,别名r116、氟利昂116、pfc-116,商品名称有reflube 116、freon 116等,中文名称,英文名称carbon tetrafluoride or tetrafluoromethane,化学式c2f6。r-116属于pfc类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应;目前对于r116制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。
r-116主要用途
r-116作为一款特种超低温制冷剂,主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等),r116同时也是超低温配合冷媒的重要组分。六氟乙烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
r-116物化性质
冷媒名称 | r-116 |
分子量 | 138 |
沸点(1atm),℃ | -128 |
临界温度,℃ | 19.7 |
临界压力,kpa | 2980 |
饱和蒸气压(25℃),kpa | 2950 |
汽化热/蒸发潜热(沸点下,1atm),kj/kg | 117.2 |
破坏臭氧潜能值(odp) | 0 |
全球变暖潜能值(gwp,100 yr) | 9200 |
ashrae安全级别 | a1(无毒不可燃) |
r-116冷媒包装
可重复使用高压钢瓶包装(需回收包装钢瓶):5kg/瓶,30kg/瓶。
r-116储存、运输
r-116制冷剂钢瓶为高压容器,储存时应远离火种、热源、避免阳光直接曝晒,通常储放于阴凉、干燥和通风的仓库内;搬运时应轻装、轻卸,防止钢瓶以及阀门等附件破损。